簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="複合式能量化學機械拋光"


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    單晶碳化矽基板之鑽石研光與化學機械拋光 平坦化製程研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 陳鼎鈞 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)在功率元件市場的潛力極大,但單晶碳化矽基板因高硬度及抗化學性等特質,造成製造過程面臨加工時間冗長等問題。本研究主要研究4H單晶碳化矽基板的研…
    • 點閱:479下載:28

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    複合式能量化學機械拋光於單晶碳化矽基板平坦化製程之研究
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生: 楊竣凱 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓在LED照明及高功率元件市場的潛力極大,目前單晶碳化矽晶圓的製造過程面臨許多挑戰,其最重要為碳化矽之高硬度及高抗化學性特性造成在化學機械拋光(Chemical Mechanical P…
    • 點閱:356下載:19
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