檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="複合式能量化學機械拋光"
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單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)在功率元件市場的潛力極大,但單晶碳化矽基板因高硬度及抗化學性等特質,造成製造過程面臨加工時間冗長等問題。本研究主要研究4H單晶碳化矽基板的研…
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單晶碳化矽晶圓在LED照明及高功率元件市場的潛力極大,目前單晶碳化矽晶圓的製造過程面臨許多挑戰,其最重要為碳化矽之高硬度及高抗化學性特性造成在化學機械拋光(Chemical Mechanical P…